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甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
Authors:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  黄浩;  朱维君;  郝俊英
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A-c:h Films  Middle-frequency Magnetron Sputtering  Mechanical Property  Tribological Property  A-c:H薄膜  中频磁控溅射  力学性能  摩擦性能  
氩离子溅射刻蚀对Ti-Si-C纳米复合薄膜XPS分析的影响 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 977-981
Authors:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  杨华;  魏智强
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Ti-si-c Nanocomposite Films  Ar++ Sputter-etching  Xps  Bonding Configurations  
钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 456-462
Authors:  姜金龙;  黄浩;  陈娣;  王琼;  冯旺军;  郝俊英
Adobe PDF(1347Kb)  |  Favorite  |  View/Download：319/1  |  Submit date：2014/01/02
类金刚石薄膜  多元掺杂  中频磁控溅射  气氛环境  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Film  Multi-elements Doping  Mf Magnetron Sputtering  Atmosphere Environment  Tribological Property  
Synthesis and characterization of quaternary Ti-Si-C-N film deposited by middle frequency magnetron sputtering 期刊论文
Advanced Materials Research, 2012, 卷号: 581-582, 页码: 540-543
Authors:  Jiang JL(姜金龙);  Chen D(陈娣);  Zhu WJ(朱伟君);  Jiang JL(姜金龙)
Adobe PDF(1404Kb)  |  Favorite  |  View/Download：325/3  |  Submit date：2013/07/12
Ti-si-c-n Films  Microstructure  Mf Magnetron Sputtering