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低温气相沉积洋葱结构碳基超润滑薄膜的方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201410819178.9, 申请日期: 2018-10-12,
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  龚珍彬
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具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201510708221.9, 申请日期: 2018-06-29,
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201510704469.8, 申请日期: 2018-06-12,
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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