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Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness  
ａ－Ｃ∶Ｈ膜的高真空磨损失效机制研究——应力的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 501-506
Authors:  吴艳霞;  李红轩;  吉利;  冶银平;  孙晓军;  陈建敏;  周惠娣
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含氢无定形碳（ａ－ｃ∶ｈ）膜  高真空  摩损失效  应力  Morphous Hydrogenated Carbon (A-c:h) Film  High Vacuum  Worn Failure  Stress