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氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究 期刊论文
无机材料学报, 2005, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 759-763
Authors:  孙蓉;  徐洮;  寇冠涛;  薛群基
Adobe PDF(502Kb)  |  Favorite  |  View/Download:151/1  |  Submit date:2014/03/03
单晶硅  氩离子注入  纳米划痕  断裂韧性  Single-crystal Silicon  Ar++ Implantation  Nano-scratch  Fracture Toughness