| 氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
孙蓉; 徐洮; 寇冠涛 ; 薛群基
| |
| 2005 | |
| Source Publication | 无机材料学报
 |
| ISSN | 1000-324X |
| Volume | 20Issue:3Pages:759-763 |
| Abstract | 通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理，利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前、后的微观力学性能和变形机理，并用透射电子显微镜研究了改性层的微观结构，研究结果表明：一定剂量的氩离子注入使单晶硅表面的断裂韧性得到改善，提高了其在纳米划痕过程中的失效负荷。原因是氩离子的注入使单晶硅表面形成了硅的微晶态与非晶态共存的混合态结构的改性层，改善了单晶硅的微观力学性能。 |
| Keyword | 单晶硅 氩离子注入 纳米划痕 断裂韧性 Single-crystal Silicon Ar++ Implantation Nano-scratch Fracture Toughness |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(50323007;50172052);中科院百人计划 |
| Indexed By | SCI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 先进固体润滑膜组 |
| Citation statistics |
Cited Times:1[CSCD]
[CSCD Record]
|
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5115 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 薛群基 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 孙蓉,徐洮,寇冠涛,等. 氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究[J]. 无机材料学报,2005,20(3):759-763. |
| APA | 孙蓉,徐洮,寇冠涛,&薛群基.(2005).氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究.无机材料学报,20(3),759-763. |
| MLA | 孙蓉,et al."氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究".无机材料学报 20.3(2005):759-763. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2005-759-763.PDF（502KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment