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PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究 期刊论文
真空, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 47-50
Authors:  常海波;  徐洮;  李红轩;  张治军;  刘惠文
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Pecvd  类金刚石薄膜  结构  摩擦学性能  Diamond-like Carbon (Dlc) Films  Microstructure  Tribological Properities