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非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究 期刊论文
物理学报, 2012, 卷号: 61, 期号: 5, 页码: 056103(1-7)
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
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磁控溅射  类石墨碳膜  微观结构  性能  Magnetron Sputtering  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Performance  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties