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氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 7-12
Authors:  吕艳红;  孔庆花;  吉利;  李红轩;  刘晓红;  陈建敏;  周惠娣
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磁控溅射  Craln 薄膜  微观结构  硬度  腐蚀  Magnetron Sputtering  Craln Film  Microstructre  Hardness  Corrosion  
非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能 期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 3, 页码: 17-22
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
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类石墨碳膜  磁控溅射  摩擦磨损  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Tribological Properties