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Microstructure and surface roughness of graphite-like carbon films deposited on silicon substrate by molecular dynamic simulation 期刊论文
Surface and Interface Analysis, 2012, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 837-843
Authors:  Huang DM(黄德明);  Pu JB(蒲吉斌);  Lu ZB(鲁志斌);  Xue QJ(薛群基);  Lu ZB(鲁志斌)
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Graphite-like Carbon  Molecular Dynamics  Silicon Substrate  Internal Stress  Surface Roughness  
单晶硅 AFM 加工过程的分子动力学模拟 期刊论文
摩擦学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 329-334
Authors:  黄德明;  王立平;  薛群基
Adobe PDF(1426Kb)  |  Favorite  |  View/Download：268/1  |  Submit date：2012/09/24
分子动力学  单晶硅  Morse  Tersoff  切削  侧向流原子  Molecular Dynamics Simulation  Monocrystal Silicon  Cutting  Side Flow