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陶瓷微型零件的软刻蚀成形与缺陷控制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2016
Authors:  苏博
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陶瓷  微制造  软刻蚀  缺陷控制  Ceramics  Microfabrication  Soft Lithography  Defect Control  
基于PDMS微模具表面性能调控的陶瓷软刻蚀成形 学位论文
理学博士, 北京: 中国科学院大学
Authors:  李敏
Adobe PDF(8418Kb)  |  Favorite  |  View/Download：100/0  |  Submit date：2020/10/29
陶瓷微器件  软刻蚀  微模具  PDMS表面改性  Ceramic microcomponents  Soft lithography  Micromolds  PDMS surface modification