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脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
Authors:  高海洋;  张斌
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高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)  脉冲频率  TiN薄膜  微观组织  力学性能  
磁控溅射沉积BCx薄膜的摩擦学性能 期刊论文
中国表面工程, 2015, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 16-23
Authors:  尚伦霖;  王立平;  张广安;  蒲吉斌
Adobe PDF(6231Kb)  |  Favorite  |  View/Download：157/1  |  Submit date：2015/11/12
Bcx薄膜  磁控溅射  靶电流  摩擦学性能  Bcx Films  Magnetron Sputtering  Target Current  Tribological Properties