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离子束流密度和基底温度对TiN纳米薄膜性能的影响 期刊论文
材料科学与工程学报, 2005, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 534-536
Authors:  梁爱民;  徐洮;  王立平;  林义民;  孙蓉
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Tin薄膜  离子束辅助沉积  结合强度  纳米硬度  摩擦学性能  Tin Film  Ion Beam Aided depositIon  Bonding Strength  Hardness  Tribological Properties