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直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85-90
Authors:  郑建云;  郝俊英;  刘小强;  龚秋雨;  刘维民
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直流磁控溅射  Tialcn薄膜  微观结构  硬度  摩擦行为  Direct Current Magnetron Sputtering  Tialcn Films  Microstructure  Hardness  Tribological Behaviours  
磁控溅射法制备氮化物硬质膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  郑建云
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氮化物硬质膜  磁控溅射  多层复合  微观结构  摩擦与磨损  Hard Nitride-based Films  Magnetron Sputtering  Multilayercomposite  Microstructure  Friction And Wear