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不同Ti靶电流对Ti掺杂类石墨碳膜的结构和性能的影响(英文) 期刊论文
Transactions of Nonferrous Metals society of China, 2012, 卷号: 22, 期号: 6, 页码: 1372-1380
Authors:  Wang YX(王永欣);  Wang LP(王立平);  Xue QJ(薛群基);  王立平
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Ti-doped Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Tribological Performance  Target Current  Ti掺杂类石墨碳膜  微观结构  摩擦学性能  靶电流  
非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究 期刊论文
物理学报, 2012, 卷号: 61, 期号: 5, 页码: 056103(1-7)
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
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磁控溅射  类石墨碳膜  微观结构  性能  Magnetron Sputtering  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Performance