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甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
Authors:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  黄浩;  朱维君;  郝俊英
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A-c:h Films  Middle-frequency Magnetron Sputtering  Mechanical Property  Tribological Property  A-c:H薄膜  中频磁控溅射  力学性能  摩擦性能  
氩离子溅射刻蚀对Ti-Si-C纳米复合薄膜XPS分析的影响 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 977-981
Authors:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  杨华;  魏智强
Adobe PDF(560Kb)  |  Favorite  |  View/Download：158/1  |  Submit date：2015/10/26
Ti-si-c Nanocomposite Films  Ar++ Sputter-etching  Xps  Bonding Configurations