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几种WS2复合薄膜的结构设计及其摩擦学性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  徐书生
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射频溅射  Ws2基薄膜  结构化设计  摩擦学性能  氧化失效机理  Radio Frequency Sputter  Ws2 Based Films  Structure Design  Tribological Properties  Oxidation Failure Mechanism  
磁控溅射制备氢化硅薄膜及其特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  王林青
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氢化硅薄膜  磁控溅射  辅助离子束  磷掺杂  硼掺杂  Hydrogenated Si Thin Films  Magnetron Sputtering  Assisted Ion Beam  P-doping  B-doping  
沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响 期刊论文
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
Authors:  姜金龙;  黄浩;  王琼;  王善民;  魏智强;  杨华;  郝俊英
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类金刚石薄膜  共掺杂  沉积温度  结构与性能  Diamond-like Carbon Film  Deposition Temperature  Co-doping  Structure And Properties