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钨铝共掺杂含氢非晶碳薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  龚秋雨
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含氢非晶碳薄膜  中频磁控溅射  共掺杂  结合强度  摩擦与磨损  Hydrogenated Amorphous Carbon Films  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Co-doping  Adhesion Strength  Friction And Wear  
纳米复合含氢非晶碳薄膜的制备、结构与性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  刘小强
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磁控溅射  含氢非晶碳薄膜  掺杂技术  纳米结构  超低摩擦  Magnetron Sputtering  Hydrogneated Amorphous Carbon Film  Doping Technique  Nanostructure  Superlow Friction  
沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响 期刊论文
机械工程材料, 2013, 卷号: 37, 期号: 10, 页码: 44-49
Authors:  高晓明;  孙嘉奕;  胡明;  翁立军;  伏彦龙;  杨军;  谭洪根
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低温沉积  钛薄膜  物相结构  性能  Low Temperature Deposition  Ti Film  Phase Structure  Property