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纳米复合Ti-B-N薄膜的结构和摩擦学性能 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 1597-1600
Authors:  马大衍;  马胜利;  徐可为;  刘维民;  S.Veprek
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Pcvd  Ti-b-n薄膜  硬度  耐磨性  Ti-b-n Coatings  Hardness  Wear-resistance  
Preparation and characterization of hydrogenated carbon nitride films synthesized by dual DC-RF plasms system 期刊论文
Materials and Science Engineering A, 2005, 卷号: 408, 页码: 297-302
Authors:  Hao JY(郝俊英);  Xu T(徐洮);  Liu WM(刘维民);  Liu WM(刘维民)
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Carbon Nitride Films  Pecvd  Composition  Mechanical Properties  
Effect of deposition pressure on microstructure and properties of hydrogenated carbon nitride films prepared by DC-RF-PECVD 期刊论文
Journal of Non-Crystalline Solids, 2005, 卷号: 351, 页码: 3671-3676
Authors:  Hao JY(郝俊英);  Xu T(徐洮);  Liu WM(刘维民);  Liu WM(刘维民)
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射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties