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直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85-90
Authors:  郑建云;  郝俊英;  刘小强;  龚秋雨;  刘维民
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直流磁控溅射  Tialcn薄膜  微观结构  硬度  摩擦行为  Direct Current Magnetron Sputtering  Tialcn Films  Microstructure  Hardness  Tribological Behaviours  
非晶碳膜的PVD法制备、离子注入改性及其摩擦学性能研究 学位论文
: 中国科学院兰州化学物理研究所, 2002
Authors:  韩修训
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非晶碳膜  摩擦学性能  直流磁控溅射  离子注入  Amorphous Carbon Films  Tribological Performance  Direct-current Magnetron Sputtering  Ion implantatIon