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磁控溅射法制备含氢非晶碳膜及其结构和性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  王永霞
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含氢非晶碳膜  磁控溅射法  内应力  热稳定性  Hydrogenated Amorphous Carbon Film  Magnetron Sputtering  Internal Stress  Thermal Stability  
多环境适应性超润滑复合类金刚石薄膜的制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
Authors:  赵飞
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掺杂类金刚石薄膜  气相沉积  超润滑  润滑机理  Doped Diamond-like Carbon Film  Vapor Deposition  Superlubricity  Lubrication Mechanism  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties