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一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544722.9, 申请日期: 2017-04-26, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  王德生;  胡明;  杨军;  刘维民;  翁立军;  孙嘉奕;  伏彦龙;  高晓明;  姜栋
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一种CrN/Cr/Si3N4/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544712.5, 申请日期: 2017-03-29, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  胡明;  伏彦龙;  刘维民;  翁立军;  杨军;  王德生;  高晓明;  姜栋;  孙嘉奕
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含硅无氢非晶碳基薄膜的摩擦磨损性能 期刊论文
中国表面工程, 2017, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 93-100
Authors:  王福;  谢明玲;  张广安;  王立平;  薛群基
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非晶碳基薄膜  硅  摩擦  磨损  Amorphous Carbon-based Films  Silicon  Friction  Wear