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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究 期刊论文
摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 118-125
Authors:  朱宏;  柳襄怀;  任琮欣;  邹世昌;  刘惠文;  张绪寿
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离子束辅助沉积  类金刚石薄膜  摩擦性能  Ion Beam Assisted depositIon  Diamond Like Film  Tribological Properties  
工艺因素对离子束增强沉积氮化硅薄膜组成与结构的影响 期刊论文
摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 97-103
Authors:  庄大明;  刘家浚;  李文治;  朱宝亮;  张绪寿;  张平余
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离子束增强沉积  陶瓷  薄膜  化学组成  晶体结构  单晶硅  52100钢  Ion Beam Enhanced depositIon  Ceramics  Thin Film  Chemical Composition  Crystal Structure  Single Crystal Silicon  52100 Steel