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一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544722.9, 申请日期: 2017-04-26, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  王德生;  胡明;  杨军;  刘维民;  翁立军;  孙嘉奕;  伏彦龙;  高晓明;  姜栋
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一种CrN/Cr/Si3N4/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544712.5, 申请日期: 2017-03-29, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  胡明;  伏彦龙;  刘维民;  翁立军;  杨军;  王德生;  高晓明;  姜栋;  孙嘉奕
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沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响 期刊论文
机械工程材料, 2013, 卷号: 37, 期号: 10, 页码: 44-49
Authors:  高晓明;  孙嘉奕;  胡明;  翁立军;  伏彦龙;  杨军;  谭洪根
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低温沉积  钛薄膜  物相结构  性能  Low Temperature Deposition  Ti Film  Phase Structure  Property