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纳米复合Ti-B-N薄膜的结构和摩擦学性能 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 1597-1600
Authors:  马大衍;  马胜利;  徐可为;  刘维民;  S.Veprek
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Pcvd  Ti-b-n薄膜  硬度  耐磨性  Ti-b-n Coatings  Hardness  Wear-resistance  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties