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退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响 期刊论文
无机材料学报, 2011, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 209-214
Authors:  王永霞;  冶银平;  李红轩;  吉利;  陈建敏;  周惠娣
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A-c:h 膜  退火温度  结构  摩擦学性能  A-c:h Film  Annealing Temperature  Structure  Tribological Property  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties