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低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究 期刊论文
摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 308-311
Authors:  高晓明;  孙嘉奕;  胡明;  翁立军;  刘维民
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Cu膜  低温沉积  择优取向  摩擦磨损性能  Cu Films  Low Temperature Deposition  Preferred Orientation  Friction And Wear Properties  
Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 204-209
Authors:  张广安;  吴志国;  王明旭;  范晓彦;  王君;  阎鹏勋
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磁控溅射  Al/aln多层膜  摩擦磨损性能  Magnetron Sputtering  Al/aln Multilayer  Friction And Wear Behavior