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Synthesis and characterization of quaternary Ti-Si-C-N film deposited by middle frequency magnetron sputtering 期刊论文
Advanced Materials Research, 2012, 卷号: 581-582, 页码: 540-543
Authors:  Jiang JL(姜金龙);  Chen D(陈娣);  Zhu WJ(朱伟君);  Jiang JL(姜金龙)
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Ti-si-c-n Films  Microstructure  Mf Magnetron Sputtering  
磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 3, 页码: 304-309
Authors:  周升国;  王立平;  薛群基
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磁控溅射  Al/a-c:h  纳米复合薄膜  摩擦学性能  Magnetron Sputtering  Nanocomposite  Tribological Property  
中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 118-122
Authors:  张广安;  王鹏;  陈友明;  王霞;  阎鹏勋;  张俊彦
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中频磁控溅射  Al-dlc薄膜  摩擦磨损性能  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Al-dlc Thin Films  Tribological Properties