C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
张晓琴1,2; 于富成1; 柴利强2; 许佼2; 贺腾飞1,2; 逄显娟3; 王鹏2 | |
2017 | |
Source Publication | 摩擦学学报 |
ISSN | 1004-0595 |
Volume | 37Issue:4Pages:537-543 |
Abstract | 采用射频磁控溅射法,在氩和氮混合气氛下共溅射二硫化钼和石墨靶制备不同石墨靶溅射功率的C/N共掺MoS2复合薄膜(MSCN). 通过EDS、XPS、SEM和TEM对薄膜的成分及微观组织结构进行分析;利用纳米压痕仪,高真空摩擦试验机和UMT-2摩擦试验机分析薄膜的力学和摩擦学性能,并探讨了C/N共掺及对薄膜结构、力学和摩擦学性能的影响. 结果表明:MSCN复合薄膜中的C含量随着石墨靶溅射功率的增加而增加;C/N共掺使得薄膜结构致密平整;当石墨靶溅射功率350 W时,薄膜呈现自形成纳米多层结构,该结构的出现使得薄膜最高硬度可达9.76 GPa,并且在高真空和大气环境下相比纯MoS2薄膜表现出更低的摩擦系数以及良好的高耐磨性. |
Keyword | 磁控溅射 Mscn复合薄膜 自形成多层结构 力学性能 摩擦学性能 Magnetron Sputtering Mscn Composite Films Self-assembled Multilayer Mechanical Properties Tribological Properties |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
DOI | 10.16078/j.tribology.2017.04.016 |
Funding Organization | 国家自然科学基金项目(51227804;U1404504) |
Indexed By | EI&CSCD |
If | 0.9261(CSCD-JCR) |
Language | 中文 |
Funding Project | 辐照环境下润滑与防护材料组 |
compositor | 第二作者单位 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/22231 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Corresponding Author | 于富成; 王鹏 |
Affiliation | 1.兰州理工大学 材料科学与工程学院,甘肃 兰州 730050 2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 3.河南科技大学 高端轴承摩擦学技术与应用国家地方联合工程实验室,河南 开封 475001 |
Corresponding Author Affilication | Lanzhou Institute of Chemical Physics,Chinese Academy of Sciences |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张晓琴,于富成,柴利强,等. C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究[J]. 摩擦学学报,2017,37(4):537-543. |
APA | 张晓琴.,于富成.,柴利强.,许佼.,贺腾飞.,...&王鹏.(2017).C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究.摩擦学学报,37(4),537-543. |
MLA | 张晓琴,et al."C/N共掺MoS2复合薄膜的微结构及其摩擦特性研究".摩擦学学报 37.4(2017):537-543. |
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CN共掺MoS2复合薄膜的微结构及其.p(8998KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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