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离子束增强沉积和磁控溅射硫化钼薄膜的摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 341-347
Authors:  庄大明;  刘家浚;  朱宝亮;  李文治;  张绪寿;  杨生荣
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离子束增强沉积  磁控溅射  Mos2薄膜  减摩性  耐磨性  Ion Beam Enhanced depositIon  Magnetron Sputtering  Mos2 Thin Film  Friction Reduction  Wear-resistance  
工艺因素对离子束增强沉积氮化硅薄膜组成与结构的影响 期刊论文
摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 97-103
Authors:  庄大明;  刘家浚;  李文治;  朱宝亮;  张绪寿;  张平余
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离子束增强沉积  陶瓷  薄膜  化学组成  晶体结构  单晶硅  52100钢  Ion Beam Enhanced depositIon  Ceramics  Thin Film  Chemical Composition  Crystal Structure  Single Crystal Silicon  52100 Steel