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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究 期刊论文
摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 118-125
Authors:  朱宏;  柳襄怀;  任琮欣;  邹世昌;  刘惠文;  张绪寿
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离子束辅助沉积  类金刚石薄膜  摩擦性能  Ion Beam Assisted depositIon  Diamond Like Film  Tribological Properties