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甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
Authors:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  黄浩;  朱维君;  郝俊英
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A-c:h Films  Middle-frequency Magnetron Sputtering  Mechanical Property  Tribological Property  A-c:H薄膜  中频磁控溅射  力学性能  摩擦性能  
沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响 期刊论文
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
Authors:  姜金龙;  黄浩;  王琼;  王善民;  魏智强;  杨华;  郝俊英
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类金刚石薄膜  共掺杂  沉积温度  结构与性能  Diamond-like Carbon Film  Deposition Temperature  Co-doping  Structure And Properties