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钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 456-462
Authors:  姜金龙;  黄浩;  陈娣;  王琼;  冯旺军;  郝俊英
Adobe PDF(1347Kb)  |  Favorite  |  View/Download：319/1  |  Submit date：2014/01/02
类金刚石薄膜  多元掺杂  中频磁控溅射  气氛环境  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Film  Multi-elements Doping  Mf Magnetron Sputtering  Atmosphere Environment  Tribological Property