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多孔阳极氧化铝膜的自润滑处理方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 200310119323.4, 申请日期: 2007-03-21, 公开日期: 2005-06-08
Inventors:  陈淼;  赵彦春;  刘维民;  刘相
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低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文
真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38
Authors:  陈炯枢;  陈学康;  刘相;  刘建喜
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电子束直写曝光  选择性化学沉积  图案化  Electron Beam Direct- Write Exposure  Selective Chemical Deposition  Patternization