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磁控溅射法制备含氢非晶碳膜及其结构和性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  王永霞
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含氢非晶碳膜  磁控溅射法  内应力  热稳定性  Hydrogenated Amorphous Carbon Film  Magnetron Sputtering  Internal Stress  Thermal Stability  
超润滑复合类金刚石碳薄膜的设计、制备及性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
Authors:  吉利
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类金刚石碳薄膜  气相沉积  超润滑  类富勒烯结构  纳米复合  空间辐射  Diamond-like Carbon Films  Vapor Deposition  Superlubricity  Fullerene-like Nanostructure  Nanocomposite  Space Irradiation