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一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544722.9, 申请日期: 2017-04-26, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  王德生;  胡明;  杨军;  刘维民;  翁立军;  孙嘉奕;  伏彦龙;  高晓明;  姜栋
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一种CrN/Cr/Si3N4/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544712.5, 申请日期: 2017-03-29, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  胡明;  伏彦龙;  刘维民;  翁立军;  杨军;  王德生;  高晓明;  姜栋;  孙嘉奕
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