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磁控溅射法制备氮化物硬质膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  郑建云
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氮化物硬质膜  磁控溅射  多层复合  微观结构  摩擦与磨损  Hard Nitride-based Films  Magnetron Sputtering  Multilayercomposite  Microstructure  Friction And Wear  
碳基纳米复合薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
Authors:  王鹏
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类金刚石薄膜  功能梯度  纳米复合  类富勒烯碳膜  力学性能  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Film  Functional Gradient Layer  Nanocomposite  Fullerene-like Carbon Film  Mechanical Properties  Tribological Properties  
等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2006
Authors:  郝俊英
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A-cnxh 薄膜  Pecvd  硬度  弹性模量  耐热耐蚀性  摩擦磨损行为  A-cnxh Films  Hardness And Elastic Modulus  Thermal Stability And Corrosion-resistant Properties  Friction And Wear Behavior