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沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响 期刊论文
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
Authors:  姜金龙;  黄浩;  王琼;  王善民;  魏智强;  杨华;  郝俊英
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类金刚石薄膜  共掺杂  沉积温度  结构与性能  Diamond-like Carbon Film  Deposition Temperature  Co-doping  Structure And Properties  
非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究 期刊论文
物理学报, 2012, 卷号: 61, 期号: 5, 页码: 056103(1-7)
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
Adobe PDF(577Kb)  |  Favorite  |  View/Download：295/0  |  Submit date：2013/07/12
磁控溅射  类石墨碳膜  微观结构  性能  Magnetron Sputtering  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Performance