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类金刚石薄膜沉积、微结构及力学性能分子动力学模拟研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  黄德明
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类金刚石薄膜  分子动力学  纳米压痕  内应力  织构化  Diamond-like Carbon Films  Molecular Dynamics  Nano-indentation  Internal Stress  Texture  
磁控溅射法制备含氢非晶碳膜及其结构和性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  王永霞
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含氢非晶碳膜  磁控溅射法  内应力  热稳定性  Hydrogenated Amorphous Carbon Film  Magnetron Sputtering  Internal Stress  Thermal Stability