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氮化物基薄膜的设计制备和高温性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2016
Authors:  付英英
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氮化物  机械性能  热稳定性能  高温摩擦学性能  润滑剂  Nitride  Mechanical Property  Thermal Stability  High-temperature Tribological Property  Lubricant  
氧化钛、氧化锌纳米薄膜的制备及其浸润性研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  杜雯
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氧化钛  氧化锌  磁控溅射  超亲水性  超疏水性  Tio2  Zno  Megneton Sputtering  Superhydrophilic  Superhydrophobic  
氮化铬硬质膜的制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  孔庆花
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Crnx薄膜  中频脉冲磁控溅射  工艺参数  微观结构  摩擦学性能  Crnx Films  Medium Frequency Pulse Magnetron Sputtering  Deposition Parameters  Microstructure  Tribological Properties  
磁控溅射法制备含氢非晶碳膜及其结构和性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  王永霞
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含氢非晶碳膜  磁控溅射法  内应力  热稳定性  Hydrogenated Amorphous Carbon Film  Magnetron Sputtering  Internal Stress  Thermal Stability  
中频交流磁控溅射制备TiOx纳米薄膜及其浸润性研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
Authors:  杜雯
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钛的氧化物  磁控溅射  水热  超亲水性  超疏水性  Tiox  Megneton Sputtering  Hydrothermal  Superhydrophilic  Superhydrophobic