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一种宽温域润滑碳基涂层材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 202210739696.4, 申请日期: 2022-09-30,
Inventors:  郝俊英;  王新宇;  鲁艳;  鲁艳;  张晓
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脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
Authors:  高海洋;  张斌
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高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)  脉冲频率  TiN薄膜  微观组织  力学性能