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沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响 期刊论文
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
Authors:  姜金龙;  黄浩;  王琼;  王善民;  魏智强;  杨华;  郝俊英
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类金刚石薄膜  共掺杂  沉积温度  结构与性能  Diamond-like Carbon Film  Deposition Temperature  Co-doping  Structure And Properties  
等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2006
Authors:  郝俊英
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A-cnxh 薄膜  Pecvd  硬度  弹性模量  耐热耐蚀性  摩擦磨损行为  A-cnxh Films  Hardness And Elastic Modulus  Thermal Stability And Corrosion-resistant Properties  Friction And Wear Behavior