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脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
Authors:  高海洋;  张斌
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高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)  脉冲频率  TiN薄膜  微观组织  力学性能  
调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2013, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 18-23
Authors:  吕艳红;  吉利;  刘流;  李红轩;  刘晓红;  陈建敏;  周惠娣
Adobe PDF(1476Kb)  |  Favorite  |  View/Download：400/2  |  Submit date：2013/12/10
磁控溅射  Cral/craln  多层薄膜  微观结构  耐腐蚀性能  Magnetron Sputtering  Multi-layer Films  Miscrostructure  Corrosion Resistance