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新型空间滑动电接触材料的制备与摩擦学性能的研究 学位论文
工学硕士, 北京: 中国科学院大学, 2018
Authors:  谢博华
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磁控溅射技术  低温沉积  Au薄膜  MoS2/Ti薄膜  载流摩擦磨损  Magnetron Sputtering Technology  Low-Temperature Deposition  Au Film  MoS2/Ti Film  Current-Carrying Friction and Wear  
微尺度织构化非晶碳基薄膜的可控制备及其摩擦学行为 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  丁奇
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激光织构化  非晶碳基薄膜  磁控溅射沉积  摩擦学性能  薄膜韧性  Laser Texturing  Amorphous Carbon Film  Magnetron Sputtering Deposition  Tribology  Coating Toughness  
氮化铬硬质膜的制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  孔庆花
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Crnx薄膜  中频脉冲磁控溅射  工艺参数  微观结构  摩擦学性能  Crnx Films  Medium Frequency Pulse Magnetron Sputtering  Deposition Parameters  Microstructure  Tribological Properties