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磁控溅射法制备含氢非晶碳膜及其结构和性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  王永霞
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含氢非晶碳膜  磁控溅射法  内应力  热稳定性  Hydrogenated Amorphous Carbon Film  Magnetron Sputtering  Internal Stress  Thermal Stability  
退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响 期刊论文
无机材料学报, 2011, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 209-214
Authors:  王永霞;  冶银平;  李红轩;  吉利;  陈建敏;  周惠娣
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A-c:h 膜  退火温度  结构  摩擦学性能  A-c:h Film  Annealing Temperature  Structure  Tribological Property