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非晶含氢碳薄膜本征结构对退火行为的影响 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 98-106
Authors:  贾倩;  张斌;  赖振国
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非晶含氢碳薄膜  退火  双极脉冲  直流脉冲  等离子体增强化学气相沉积  
一种纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜的制备方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010424618.6, 申请日期: 2021-10-08,
Inventors:  张俊彦;  贾倩;  张斌;  强力;  高凯雄;  张兴凯
Adobe PDF(106Kb)  |  Favorite  |  View/Download：81/0  |  Submit date：2021/11/22