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氮化铬硬质膜的制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  孔庆花
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Crnx薄膜  中频脉冲磁控溅射  工艺参数  微观结构  摩擦学性能  Crnx Films  Medium Frequency Pulse Magnetron Sputtering  Deposition Parameters  Microstructure  Tribological Properties  
氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 7-12
Authors:  吕艳红;  孔庆花;  吉利;  李红轩;  刘晓红;  陈建敏;  周惠娣
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磁控溅射  Craln 薄膜  微观结构  硬度  腐蚀  Magnetron Sputtering  Craln Film  Microstructre  Hardness  Corrosion