TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
梁山; 孙冬兰; 薛群基![]() | |
2011 | |
Source Publication | 无机化学学报
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ISSN | 1001-4861 |
Volume | 27Issue:1Pages:135-140 |
Abstract | 比较了3种具有羟基表面SiO2 层的差异:紫外光照 SAMs 形成的羟基表面,紫外光照射前 照射后的羟基表面;用光照前后表面的差异,结合化学浴沉积技术在单晶硅基底上制得了TiO2 微图案薄膜 系统考察了光源 硅片表面性质的变化 溶液等方面对图案生成的影响 实验表明 TiO2 沉积在未照区,电子和空穴动力学上的差异造成光照区表面正电荷增多,抑制了TiO2 的沉积 该方法不需要光刻胶和自组装膜作为辅助模板,具有简单廉价的特点。 |
Keyword | 图案化 光照 电子 空穴 迁移率 Patterned Irradiation Electron Hole Mobility |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 教育部留学回国人员科研启动基金;天津科技大学引进人才科研启动基金(No.20080433)资助项目 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/931 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Corresponding Author | 梁山 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 梁山,孙冬兰,薛群基. TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化[J]. 无机化学学报,2011,27(1):135-140. |
APA | 梁山,孙冬兰,&薛群基.(2011).TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化.无机化学学报,27(1),135-140. |
MLA | 梁山,et al."TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化".无机化学学报 27.1(2011):135-140. |
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2011-135-140.PDF(927KB) | 开放获取 | License | View Application Full Text |
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