LICP OpenIR  > 固体润滑国家重点实验室(LSL)
TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化
Department固体润滑国家重点实验室
梁山; 孙冬兰; 薛群基
2011
Source Publication无机化学学报
ISSN1001-4861
Volume27Issue:1Pages:135-140
Abstract比较了3种具有羟基表面SiO2 层的差异:紫外光照 SAMs 形成的羟基表面,紫外光照射前 照射后的羟基表面;用光照前后表面的差异,结合化学浴沉积技术在单晶硅基底上制得了TiO2 微图案薄膜 系统考察了光源 硅片表面性质的变化 溶液等方面对图案生成的影响 实验表明 TiO2 沉积在未照区,电子和空穴动力学上的差异造成光照区表面正电荷增多,抑制了TiO2 的沉积 该方法不需要光刻胶和自组装膜作为辅助模板,具有简单廉价的特点。
Keyword图案化 光照 电子 空穴 迁移率 Patterned Irradiation Electron Hole Mobility
Subject Area材料科学与物理化学
Funding Organization教育部留学回国人员科研启动基金;天津科技大学引进人才科研启动基金(No.20080433)资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
Funding Project低维材料摩擦学组
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.licp.cn/handle/362003/931
Collection固体润滑国家重点实验室(LSL)
Corresponding Author梁山
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GB/T 7714
梁山,孙冬兰,薛群基. TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化[J]. 无机化学学报,2011,27(1):135-140.
APA 梁山,孙冬兰,&薛群基.(2011).TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化.无机化学学报,27(1),135-140.
MLA 梁山,et al."TiO2 颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化".无机化学学报 27.1(2011):135-140.
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