| 箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
孟玉堂; 汤光平; 魏齐龙; 王立平 ; 郑越青
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| 2011 | |
| Source Publication | 机械工程材料
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| ISSN | 1000-3738 |
| Volume | 35Issue:1Pages:69-71 |
| Abstract | 采用中频非平衡磁控溅射方法在箔片空气轴承的主轴材料40Cr 钢、支承元件铍青铜箔片及硅片上制备了钛掺杂的DLC 膜,并对膜的结构、摩擦磨损性能、结合强度以及内应力等进行了表征。结果表明:所制备的DLC 膜含有较多的sp2键,与基体结合力强,两种轴承材料上沉积DLC膜之间的摩擦配副的减摩抗磨效果较好,摩擦因数在0.06~ 0.08, 磨损率为4.8×10- 8mm3 N- 1m- 1可用于箔片空气轴承表面的固体润滑。 |
| Keyword | 箔片空气轴承 固体润滑 Dlc 膜 摩擦磨损 Foil Air Bearing Solid Lubrication Dlc Film Friction And Wear |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所长基金资助项目(K587-09-JS) |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/893 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 孟玉堂,汤光平,魏齐龙,等. 箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征[J]. 机械工程材料,2011,35(1):69-71. |
| APA | 孟玉堂,汤光平,魏齐龙,王立平,&郑越青.(2011).箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征.机械工程材料,35(1),69-71. |
| MLA | 孟玉堂,et al."箔片空气轴承表面钛掺杂DLC膜的制备与表征".机械工程材料 35.1(2011):69-71. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2011-69-71.PDF（1117KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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