| 离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性 | |
| Department | 非现建制 |
| 刘捍卫; 陈元儒; 张绪寿 | |
| 1994 | |
| Source Publication | 金属学报
 |
| ISSN | 0412-1961 |
| Volume | 30Issue:7Pages:323-326 |
| Abstract | 用XPS，AES和XRD分析厚约2 μm离子束辅助沉积TiN膜的成分和结构．实验表明：膜的表面成分主要是TiO2，膜内是轻微择优取向晶粒较细的TiN．膜与衬底的界面存在混合区，用阶梯加载法测定润滑条件下GCr15钢与TiN膜对磨时的临界载荷－速度关系．试验发现TiN膜可显著扩大边界润滑区，承受较大载荷而不致发生擦伤． |
| Keyword | 离子束辅助沉积 Tin膜 滑动摩擦 Ion Beam Assisted depositIon Tin Film Sliding Friction |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/7295 |
| Collection | 非现建制 |
| Corresponding Author | 刘捍卫 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘捍卫,陈元儒,张绪寿. 离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性[J]. 金属学报,1994,30(7):323-326. |
| APA | 刘捍卫,陈元儒,&张绪寿.(1994).离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性.金属学报,30(7),323-326. |
| MLA | 刘捍卫,et al."离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性".金属学报 30.7(1994):323-326. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 离子束辅助沉积TiN膜的摩擦学特性_刘捍（239KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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