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二硫化钼溅射膜在潮湿空气中贮存后润滑性能的退化与失效机理
Department非现建制
王均安; 于德洋; 欧阳锦林
1994
Source Publication摩擦学学报
ISSN1004-0595
Volume14Issue:1Pages:25-32
Abstract为了探讨MoS2溅射膜在潮湿空气中贮存期间所发生的化学变化这个长期争议未了的问题,以空间机械常用的9Cr18轴承钢为底材,利用rf溅射法沉积MoS2薄膜,并且利用X射线光电子能谱仪、俄歇电子能谱仪和X射线衍射仪等对这种薄膜在室温(11-15 ℃)下于相对湿度为100%的潮湿空气中贮存不同时间后的组成、元素价态和晶体结构进行了分析,考察了它在潮湿贮存过程中所发生的化学变化及其润滑性能的退化与失效机理,检测发现,MoS2溅射膜经潮湿贮存一天就有少量的Mo4+氧化生成了Mo6+,在潮湿贮存5天时又发现有少量的SO生成,随着贮存时间的延长,不仅膜中Mo6+/Mo4+之比在不断地增大,表明有更多的Mo4+发生了深度氧化,而且S2-发生氧化生成的SO之含量也越来越大。由此可见,MoS2溅射膜在室温下于潮湿空气中贮存期间与氧和水发生了化学反应,生成物是MoO3和H2SO4.H2SO4的生成致使薄膜表面的凝聚水呈现出pH值为1.5-2.0的强酸性,从而造成了金属底材的腐蚀。MoS2的深度氧化和金属底材的腐蚀是导致MoS2溅射膜在潮湿环境中润滑性能退化与失效的主要原因。
KeywordMos2溅射膜 潮湿贮存 氧化产物 润滑性能退化与失效机理 Mos2 Sputtered Film StorIng In Moist Air Oxidation Product Mechanism Of Lubrication Degradation And Failure
Subject Area材料科学与物理化学
Funding Organization国家自然科学基金资助项目
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.licp.cn/handle/362003/7255
Collection非现建制
Corresponding Author于德洋
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GB/T 7714
王均安,于德洋,欧阳锦林. 二硫化钼溅射膜在潮湿空气中贮存后润滑性能的退化与失效机理[J]. 摩擦学学报,1994,14(1):25-32.
APA 王均安,于德洋,&欧阳锦林.(1994).二硫化钼溅射膜在潮湿空气中贮存后润滑性能的退化与失效机理.摩擦学学报,14(1),25-32.
MLA 王均安,et al."二硫化钼溅射膜在潮湿空气中贮存后润滑性能的退化与失效机理".摩擦学学报 14.1(1994):25-32.
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